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      邀請報告嘉賓丁玉強
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      邀請報告嘉賓丁玉強

      江南大學教授
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        丁玉強,江南大學,1967年生,2002年在德國哥廷根大學獲自然科學博士學位(Dr.rer.nat.),并分別在哥廷根大學和德國馬普煤炭研究所從事博士后研究工作,2004年被江南大學聘為教授,2006年入選教育部“新世紀優秀人才”,2007年入選江蘇省“333高層次人才培養工程”首批中青年科學技術帶頭人,曾任江南大學化學與材料工程學院副院長(2007-2013),教育部化學類教指委委員(2013-2017),中國化工學會無機酸堿鹽專業委員會學術帶頭人(2012-2016)。主要從事新型金屬有機化合物與先進電子材料的合成與應用研究,在國際權威期刊上發表研究論文70余篇,申請發明專利20余件。

        報告題目: 原子層沉積鋁前驅體的設計與合成研究

        報告簡介:

        在原子層沉積(ALD)工藝技術中,前驅體的性質至關重要,如熱穩定性、揮發性和耐分解性,而鋁前驅體的穩定性一直是半導體技術領域的一個難題,從而限制了本技術領域的發展。

        本文以氨基吡啶及其衍生物與鋁烷為原料合成了一系列新型原子層沉積鋁前驅體。將制備的鋁前驅體與三甲胺鋁烷(TMAA)、二甲基乙胺鋁烷(DMEAA)及二甲基氫化鋁(DMAH)進行對比。

        研究結果表明,新型鋁前驅體在一定條件下能夠形成穩定性更高、揮發性更低的二聚體化合物(冷凍狀態),便于儲存、運輸以及后續的使用;且當溫度升高時,又可轉化為揮發性較高且不易分解的前驅體化合物(解凍狀態)。

        此類鋁前驅體可通過ALD技術制備金屬薄膜、含鋁的氧化物薄膜、含鋁的氮化物薄膜、含鋁的合金薄膜,成為潛在的重要鋁前驅體。

       

       

      丁玉強(右)

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