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      北京市海淀區知春路27號量子芯座

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      分會委員張衛

      復旦大學微電子學院副院長
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        張衛,教授、博士生導師,現任復旦大學微電子學院副院長。從事極大規模集成電路工藝、半導體材料和微電子器件研究。在極大規模集成電路先進銅互連技術、原子層淀積工藝,以及新型存儲器等研究中取得了一系列創新性成果。復旦大學校學術委員會委員、國家重大專項(02專項)總體組專家、國家科技獎勵評審專家、上海市戰略性新興產業推進工作組專家、國家自然科學基金委員會-中國科學院“后摩爾時代微納電子”學科發展戰略研究工作組專家、中國工程院-上海市政府“長三角地區集成電路產業發展戰略研究”專家組專家。近年已發表SCI論文200多篇,申請發明專利180多項,其中30多項美國專利。

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