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福建德爾科技有限公司
主要產品及性能介紹
聯系方式
| 產品分類 | 二級分類 | 產品名稱 | 圖片介紹 | 生產廠家 | 產品特征 |
| 特種電子氣體和前驅體 | 刻蝕用氣體 | 六氟化硫SF6 |
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福建德爾科技有限公司 | SF6 Purity>99.9995% O2+Ar<0.5 PPMV, N2<2.0 PPMV, CO2<0.2 PPMV,CH4<0.1 PPMV, CF4<0.1PPMV C2F6<2.0PPMV Acidity(HF)≤0.1PPMV, H2O<1.0PPMV |
| 特種電子氣體 和前驅體 | 刻蝕用氣體 | 四氟化碳 |
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福建德爾科技有限公司 | CF4 Purity≥99.9997% O2≤0.5 PPMV, N2≤1.0 PPMV, H2≤0.1PPMV CO2≤0.1 PPMV CO≤0.1PPMV,CH4≤0.1 PPMV, CHF3≤0.3PPMV OFC≤0.1PPMV Acidity(HF)≤0.1PPMV, H2O≤1.0PPMV |