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研究員，博士生導師，中科院微電子研究所計算光刻研發中心主任。1998-2001年任美國能源部橡樹嶺國家實驗室博士后、助理教授；2001-2008年任美國英飛凌和安智公司紐約研發中心高級工程師；2009-2013年任美國格羅方德公司紐約研發中心研究員、光刻部門經理；2013-2015年任沈陽芯源微電子設備有限公司副總經理；2016以來任現職。
