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磷烷PH3
江蘇南大光電材料股份有限公司
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規格及技術指標如下(ppm,v/v):PH3 ≥99.9997%， O2+Ar<0.1 N2<0.2 CO<0.1 CO2<0.1 THC<0.1 H20<0.2，AsH3<0.1