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四甲基氫氧化銨（TMAH，濃度25%）
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電子級四甲基氫氧化銨具有強堿性，25%的水溶液被稱為堿性顯影液，主要是利用其將光阻經曝光后形成的有機酸中和、剝落，留下未反應的光阻圖案。金屬離子<5ppb。