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硅化學機械拋光液系列
安集微電子(上海)有限公司
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產品特點:粗拋液:高研磨速率(1-2微米/分鐘),高稀釋比(1:20-1:40)精拋液:超低表面缺陷,超低表面粗糙度,高稀釋比(1:10-1:20)