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硅化學機械拋光液系列
安集微電子(上海)有限公司
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產品特點：粗拋液：高研磨速率(1-2微米/分鐘)，高稀釋比(1：20-1：40)精拋液：超低表面缺陷，超低表面粗糙度，高稀釋比(1：10-1：20)