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      2016國際平坦化技術大會(ICPT 2016)在中國大陸首次成功舉辦

      2016國際平坦化技術大會(ICPT 2016)在中國大陸首次成功舉辦

      來源:
      2016/10/30
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        2016國際平坦化技術大會(InternationalConferenceonPlanarization/CMPTechnology,ICPT)于2016年10月17-19日在北京友誼賓館圓滿舉行。ICPT是平坦化領域的規模最大、參與人數最多的國際盛會,每年一次,在美國、歐洲、日本、韓國、中國臺灣、中國大陸等6個國家或地區輪流舉辦,今年是ICPT第一次在中國大陸舉辦。本次會議由中國平坦化技術聯盟和北京多維電子材料技術開發與促進中心共同主辦,IEEE北京分會技術和出版支持,中國半導體行業協會、集成電路材料和零部件產業技術創新戰略聯盟、和中國機械工程學會摩擦學分會協辦。

        本次大會是一次化學機械拋光(CMP)和平坦化技術國際交流的盛會,是微納電子和精密制造領域平坦化技術與產業鏈合作交流的盛會。本次大會主席是清華大學路新春教授,程序委員會主席是復旦大學屈新萍教授,贊助展示委員會主席是安集微電子王雨春博士。大會秘書長是集成電路材料和零部件產業技術創新戰略聯盟秘書長石瑛女士。

        來自世界各地的科研工作者和工程師齊聚一堂,共同探討平坦化過程中的關鍵問題,進行廣泛的技術交流和信息共享。會議與會者約400人,其中超過200人為美歐、日韓等國的專家學者。參會者主要來自平坦化工藝中裝備、材料、工藝等領域的公司企業和高??蒲性核?,其中包括公司企業和高校院所的權威代表,如Levitronix,AppliedMaterials,Ebara,Entegris,Cabot,Fujimi,ClarksonUniversity等國際企業和院校,及臺積電、中芯國際、華力微電子、華海清科、安集、清華、復旦等國內企業院校。

        大會開幕式由中國平坦化技術聯盟秘書長、集成電路材料和零部件產業技術創新戰略聯盟秘書長石瑛主持,中國半導體行業協會副理事長、中科院微電子所所長葉甜春,和本次大會主席、中國平坦化技術聯盟主席、清華大學教授路新春分別進行了精彩的致辭。接下來大會共分為8場專題研討會,其中包括3個主旨報告和10個邀請報告,邀請了國際平坦化領域的資深專家前來探討,主旨報告者包括中芯國際的副總裁TzuChiangYu,臺積電的總監ChrisChern,以及Ebara的公司CTOManabuTsujimura,而邀請報告者分別來自應用材料公司,Globalfoundries,Toshiba,三星,SKHynix,韓國漢陽大學,IMEC,LETI,華力微電子,和美國東北大學。此外,還包括33篇口頭報告和71篇張貼報告。本次大會保持了ICPT的一個優良傳統,有30個張貼報告經過遴選在大會上做3分鐘的短口頭報告,之后再進行張貼。與會人員就半導體中的CMP應用、新興CMP和集成、CMP的缺陷、清洗、建模,CMP機理研究,CMP設備、耗材,3D集成中的CMP等諸多前沿問題進行了廣泛而深入的技術交流和討論。經過程序委員會打分遴選,在大會閉幕式上頒發了三位優秀學生報告獎,獲獎者分別為清華大學機械系的饒璨、復旦大學微電子學院的楊光、和韓國漢陽大學ERICA校區材料系的Kwang-MinHan。隨著我國IC科技的飛速發展,以及國家集成電路產業投資基金的成立和發展壯大,大陸地區的集成電路產業不斷迅猛前進,綜合實力得到了顯著提升。大會的國際執行委員會成員在會后紛紛表示,非常高興看到中國有這么多的CMP領域的研發人員和工程師,本次大會高水平的報告、良好組織、盛情接待使得會議非常成功。通過舉辦本次大會,我們期待更多的CMP領域的研究開發人員在一起產生深遠的合作,中國大陸在國際集成電路尤其是平坦化領域的影響力和話語權也將進一步提升。

       

      北京多維電子材料技術開發與促進中心

       

      中國平坦化技術聯盟秘書長、集成電路材料和零部件產業技術創新戰略聯盟秘書長石瑛主持會議

       

      北京多維電子材料技術開發與促進中心

       

      中國半導體行業協會副理事長、中科院微電子所所長葉甜春致辭

       

      北京多維電子材料技術開發與促進中心

       

      會議主席、中國平坦化技術聯盟主席、清華大學教授路新春致辭

       

      北京多維電子材料技術開發與促進中心

       

      大會現場

       

      北京多維電子材料技術開發與促進中心

       

      三位“最佳學生論文獎”獲得者與頒獎者合影

      (左起:清華大學路新春教授、臺灣科技大學陳炤彰教授、清華大學饒璨、漢陽大學Kwang-MinHan、復旦大學楊光、復旦大學屈新萍教授、日本KyushuUniversity的Syuhei Kurokawa教授)

       

      北京多維電子材料技術開發與促進中心

       

      閉幕式上部分與會者合影

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