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獲獎項目 |
獲獎單位 |
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1 |
電子級硫酸 |
湖北興福電子材料有限公司 |
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2 |
集成電路制造用高純硫酸 |
中巨芯科技股份有限公司 |
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3 |
電子級硫酸 |
聯仕新材料有限公司 |
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4 |
鎢拋光液系列 |
安集微電子科技（上海）股份有限公司 |
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5 |
300mm超高純銅靶 |
有研億金新材料有限公司 |
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6 |
先進封裝用光刻膠去除劑系列 |
安集微電子科技（上海）股份有限公司 |
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7 |
超凈高純過氧化氫 |
晶瑞電子材料股份有限公司 |
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8 |
集成電路刻蝕用硅部件 |
有研半導體硅材料股份公司 |