關鍵字：Ag-Cu-Sn三元系擴散偶相圖電子探針

　　Ag-Cu-Sn中溫釬料因其耐溫、抗蠕變和耐腐蝕性能優異，廣泛的運用于電子封裝領域，但由于其本質脆性導致制備困難，成品率較低，而建立Ag-Cu-Sn相圖對Ag-Cu-Sn釬料的設計與制備具有重要的指導作用。

　　本文利用三元擴散偶局域平衡原理，通過掃描電鏡及電子探針微區成分分析方法測定Ag-Cu-Sn三元擴散偶在450℃下的相平衡關系及其成分，建立了450℃下Ag-Cu-Sn富Ag-Cu區域三元等溫截面圖。

　　研究結果表明，Ag-Cu-Sn三元擴散偶中存在4個二元化合物Cu41Sn11、Cu3Sn、Ag5Sn，Ag3Sn，未發現三元化合物，而且Cu在Ag5Sn及Ag在Cu41Sn11和Cu3Sn中的固溶度分別為4.89at%、4.63at%、7.89at%。研究發現，450℃下Ag-Cu-Sn三元系富Ag-Cu區域內存在3個三相區：Ag+Cu41Sn11+Cu、Ag+Cu41Sn11+Cu3Sn、Ag5Sn+Ag+Cu3Sn。

　　通過擴散偶技術測定Ag-Cu-Sn三元等溫截面有助于判定現有結果的可靠性以及添加新數據到Ag-Cu-Sn相平衡。