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      最佳貢獻獎

      分類:
      2020
      作者:
      來源:
      發布時間:
      2021/04/19 15:58
      瀏覽量

      獲獎單位

      廣東華特氣體股份有限公司  總經理傅鑄紅

      獎項介紹

      傅鑄紅,廣東華特氣體股份有限公司總經理,高級工程師,全國半導體設備和材料標準化技術委員會氣體分技術委員會副主任委員。主導公司電子氣體研發,20多個品種的電子氣體應用于國內8英寸、12英寸芯片廠,部分產品進入5納米工藝技術節點;研制的光刻氣體通過ASML認證,并被主流IC廠廣泛使用;主持了02專項在內的多項國家、省級項目,為電子氣體產品技術提升和批量應用做出重要貢獻。

       

      獲獎單位

      南京國盛電子有限公司  副總經理任凱

      獎項介紹

      南京國盛電子有限公司副總經理任凱,擁有豐富的硅外延工藝技術經驗和生產管理經驗。他組建并帶領國盛公司“半導體硅外延用關鍵原輔材料和關鍵設備耗材備件國產化推進團隊”,協同國內相關產業鏈中的龍頭企業,在外延設備、關鍵零部件及特氣系統等本地化推進方面取得豐碩的成果。不但保證了半導體硅外延供應鏈安全,也帶動了國內配套企業的整體技術提升和產業轉型,實現了雙贏、多贏的良性發展局面。

       

      獲獎單位

      中芯國際  史偉

      獎項介紹

      在北京科華與中芯國際北京廠光刻部的合作中,史偉經理一方面在產品規劃、光刻膠測試及設備穩定性方面給北京科華提出了大量有針對性的建議;另一方面倡導雙方加深交流和合作,通過常態化的技術交流,使光刻工程師更加理解光刻膠機理,不斷提高對本地光刻膠產品的信任度。在過去的五年里,完成了多款KrF和i線光刻膠的產品定型和量產化應用,為培育光刻膠本地供應能力作用貢獻。

       

       

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