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      最佳合作獎

      分類:
      2020
      作者:
      來源:
      發布時間:
      2021/04/19 15:59
      瀏覽量

      獲獎項目

      12英寸光刻膠國產化量產應用

      獲獎單位

      北京科華微電子材料有限公司

      中芯國際集成電路制造(北京)有限公司

      獎項介紹

      中芯國際北京廠光刻部2017年12月開始與北京科華合作推進光刻膠的實用化研究,至今已實現多款KrF光刻膠和i 線光刻膠量產應用。通過雙方密切合作,北京科華在產品開發及品質管理方面得到了巨大提升;中芯國際北京廠光刻部團隊也更深入了解了光刻膠機理,對光刻膠的應用和異常分析也得到了很大提升。

       

      獲獎項目

      8英寸集成電路材料國產化量產應用

      獲獎單位

      華潤微電子有限公司

      獎項介紹

      華潤微電子以復興民族微電子為己任,與國內材料供應商深度合作,建立供需雙方戰略合作關系。在較大程度上實現材料自主可控的同時,帶動國產供應鏈的共同成長,有助于構建具有核心競爭力的全產業鏈業務模式,實現產業興邦。2014年-2019年,8寸線已累計采購國產原材料4.63億元人民幣。

       

      獲獎項目

      128層3D-NAND 氧化層拋光墊的研發及量產應用

      獲獎單位

      湖北鼎匯微電子材料有限公司

      長江存儲科技有限責任公司

      獎項介紹

      長江存儲科技有限責任公司與湖北鼎匯微電子材料有限公司在CMP工藝用拋光墊方面深度合作,根據實際要求擬定攻關內容,確定需要重點解決問題,開發出滿足128層3D-NAND存儲器CMP制程用氧化層拋光墊,并上線量產應用。通過合力攻關,提升了我國在CMP拋光墊領域的自主創新和產品開發能力,降低產品市場價格,并為進一步技術發展奠定基礎。

       

      獲獎項目

      SiC襯底材料國產化推動

      獲獎單位

      南京國盛電子有限公司

      獎項介紹

      南京國盛電子有限公司長期致力于高質量半導體外延材料研發和生產,具有40余年的產業化經驗。2017年,國盛公司組建了SiC(碳化硅)襯底材料國產化推進團隊,研究SiC襯底材料參數與外延工藝參數關系,確定襯底材料的驗證方案,與國內SiC襯底供應商展開聯合攻關。截止2020年,已完成國內3家襯底廠家的批量化驗證,并在下游芯片企業穩定使用,產品質量穩定。國內SiC襯底廠家通過技術積累和工藝優化,部分產品參數達到世界先進水平,生產能力也大幅度提高,為推動我國寬禁帶半導體材料產業的發展作出貢獻。

       

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