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      集成電路材料產業技術創新聯盟團體標準審查會在寧波舉行

      集成電路材料產業技術創新聯盟團體標準審查會在寧波舉行

      來源:
      2020/12/18
      瀏覽量

      2020年12月16日,集成電路材料產業技術創新聯盟(以下簡稱“ICMtia”)標準委員會在寧波舉行了團體標準審查會。

      會議由ICMtia標準委員會主任劉兵主持,審查組專家及部分相關單位的領導和工程技術人員出席了本次會議。會議審查了由ICMTtia歸口,由寧波南大光電材料有限公司起草的《集成電路用ArF干式光刻膠》、《集成電路用ArF浸沒式光刻膠》《集成電路用ArF光刻膠的光刻檢測方法》和由徐州博康信息化學品有限公司起草的《集成電路用ArF光刻膠單體第1部分:液體甲基丙烯酸酯類》、《集成電路用ArF光刻膠單體第1部分:固體甲基丙烯酸酯類》五項團體標準送審稿。

      審查組專家聽取了標準編制組的匯報后,審閱了相關資料,并對標準送審稿逐項逐條進行了嚴格細致審查和討論,提出許多可行性的修改意見。

      整個審查過程嚴格遵循ICMtia標準委員會《標準制定程序》規定,最終審查組投票通過了《集成電路用ArF干式光刻膠》、《集成電路用ArF浸沒式光刻膠》《集成電路用ArF光刻膠的光刻檢測方法》和《集成電路用ArF光刻膠單體第1部分:液體甲基丙烯酸酯類》、《集成電路用ArF光刻膠單體第1部分:固體甲基丙烯酸酯類》送審稿的審定,并建議編制組按審查組的意見修改后形成標準報批稿。

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