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      聯盟團體標準發布公告(一)

      聯盟團體標準發布公告(一)

      來源:
      ICMtia
      2019/04/22
      瀏覽量

      根據《團體標準管理規定》及《集成電路材料產業技術創新聯盟標準制定程序》要求,經聯盟標準委員會審議通過,現批準發布如下2項團體標準:

      T/ICMTIA 1-2019《集成電路材料產業技術創新聯盟氣體基礎規范》

      T/ICMTIA 2-2019《集成電路用過氧化氫》

       

      以上標準于2019年4月17日發布,并于2019年10月10日開始實施,特此公告。

       

      附1:《集成電路材料產業技術創新聯盟氣體基礎規范》目錄

      附2:《集成電路用過氧化氫》目錄

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