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      “首屆集成電路材料獎”獲獎名單頒布

      “首屆集成電路材料獎”獲獎名單頒布

      來源:
      2020/09/29
      瀏覽量

      為鼓勵集成電路材料企業技術創新,加速推動產業化成果,加強產業鏈上下游的協同發展,2020年集成電路材料產業技術創新聯盟特舉辦“首屆集成電路材料獎”評選活動。經過評審委員會與秘書處的投票及綜合評定,共評出技術攻關獎、最佳合作獎、最佳貢獻獎等各類獎項37項,并于9月15日召開的“2020中國半導體材料創新發展大會”上予以頒布及表彰。獲獎名單如下:

       

      一、技術攻關獎

      獲獎項目

      集成電路用超高純氟化氫的制備工藝

      獲獎單位

      中船重工(邯鄲)派瑞特種氣體有限公司

      獎項介紹

      中船重工(邯鄲)派瑞特種氣體有限公司經過技術優化和難題攻關,開發出高純特種氣體氟化氫,氟化氫,產品中水分、金屬等關鍵雜質指標控制達到國際先進水平,滿足國內先進制程的應用要求。派瑞氣體勇于擔當,志在超越,將通過持續的技術創新,不斷的升級服務,為中國集成電路產業的自主化貢獻自己的力量。

       

      獲獎項目

      乙硅烷關鍵技術研發與產業化

      獲獎單位

      安徽亞格盛電子新材料有限公司

      獎項介紹

      安徽亞格盛電子新材料有限公司專注于先進制程薄膜沉積材料的自主開發。經過多年技術攻關,終于將20nm以下先進制程的關鍵硅源材料—乙硅烷成功產業化并達到國際先進水平,填補了國內空白,產品銷售到國際一流半導體企業。

       

      獲獎項目

      12英寸晶圓銅制程CMP 拋光墊產業化技術

      獲獎單位

      湖北鼎匯微電子材料有限公司

      獎項介紹

      湖北鼎匯微電子材料有限公司從2012年開始CMP制程材料的研究開發,已開發出具有自主知識產權的集成電路用12英寸晶圓銅制程CMP 拋光墊技術與產品,產品質量達到國外同類產品先進水平,并投資5億多元建成了年產20萬片拋光墊產業化裝置,已實現多家Fab廠的規模銷售,為自主開發CMP拋光墊技術,并實現產業發展奠定基礎。

       

      獲獎項目

      集成電路用6N級磷烷砷烷特氣產業化技術

      獲獎單位

      江蘇南大光電材料股份有限公司

      獎項介紹

      江蘇南大光電材料股份有限公司以“敢為人先,敢爭一流,敢攀高峰、敢創大業”的拼搏精神,持續專注于于高純電子材料領域技術攻關與產品開發,攻克了超高純純砷烷和磷烷的制備技術和安全源自主設計與制造技術,填補了我國在該項領域的產品空白,有力保障了我國集成電路制造對離子注入安全源的需求。

       

      獲獎項目

      集成電路用12英寸超高純銅靶材成套制備技術

      獲獎單位

      有研億金新材料有限公司

      獎項介紹

      有研億金新材料有限公司深耕集成電路高純金屬靶材領域十余年,通過科研攻關與自主創新,成功攻克了12英寸超高純銅靶材成套制備技術,并建立了工業化生產線,產品質量和技術工藝達到國際先進水平,為我國集成電路關鍵靶材的自主可控發展做出了突出貢獻。

       

      二、最佳合作獎

      獲獎項目

      12英寸光刻膠國產化量產應用

      獲獎單位

      北京科華微電子材料有限公司

      中芯國際集成電路制造(北京)有限公司

      獎項介紹

      中芯國際北京廠光刻部2017年12月開始與北京科華合作推進光刻膠的實用化研究,至今已實現多款KrF光刻膠和i 線光刻膠量產應用。通過雙方密切合作,北京科華在產品開發及品質管理方面得到了巨大提升;中芯國際北京廠光刻部團隊也更深入了解了光刻膠機理,對光刻膠的應用和異常分析也得到了很大提升。

       

      獲獎項目

      8英寸光刻膠國產化量產應用

      獲獎單位

      華潤微電子有限公司

      獎項介紹

      華潤微電子以復興民族微電子為己任,與國內材料供應商深度合作,建立供需雙方戰略合作關系。在較大程度上實現材料自主可控的同時,帶動國產供應鏈的共同成長,有助于構建具有核心競爭力的全產業鏈業務模式,實現產業興邦。2014年-2019年,8寸線已累計采購國產原材料4.63億元人民幣。

       

      獲獎項目

      128層3D-NAND 氧化層拋光墊的研發及量產應用

      獲獎單位

      湖北鼎匯微電子材料有限公司

      長江存儲科技有限責任公司

      獎項介紹

      長江存儲科技有限責任公司與湖北鼎匯微電子材料有限公司在CMP工藝用拋光墊方面深度合作,根據實際要求擬定攻關內容,確定需要重點解決問題,開發出滿足128層3D-NAND存儲器CMP制程用氧化層拋光墊,并上線量產應用。通過合力攻關,提升了我國在CMP拋光墊領域的自主創新和產品開發能力,降低產品市場價格,并為進一步技術發展奠定基礎。

       

      獲獎項目

      SiC襯底材料國產化推動

      獲獎單位

      南京國盛電子有限公司

      獎項介紹

      南京國盛電子有限公司長期致力于高質量半導體外延材料研發和生產,具有40余年的產業化經驗。2017年,國盛公司組建了SiC(碳化硅)襯底材料國產化推進團隊,研究SiC襯底材料參數與外延工藝參數關系,確定襯底材料的驗證方案,與國內SiC襯底供應商展開聯合攻關。截止2020年,已完成國內3家襯底廠家的批量化驗證,并在下游芯片企業穩定使用,產品質量穩定。國內SiC襯底廠家通過技術積累和工藝優化,部分產品參數達到世界先進水平,生產能力也大幅度提高,為推動我國寬禁帶半導體材料產業的發展作出貢獻。

       

      三、最佳貢獻獎

      獲獎單位

      廣東華特氣體股份有限公司  總經理傅鑄紅

      獎項介紹

      傅鑄紅,廣東華特氣體股份有限公司總經理,高級工程師,全國半導體設備和材料標準化技術委員會氣體分技術委員會副主任委員。主導公司電子氣體研發,20多個品種的電子氣體應用于國內8英寸、12英寸芯片廠,部分產品進入5納米工藝技術節點;研制的光刻氣體通過ASML認證,并被主流IC廠廣泛使用;主持了02專項在內的多項國家、省級項目,為電子氣體產品技術提升和批量應用做出重要貢獻。

       

      獲獎單位

      南京國盛電子有限公司  副總經理任凱

      獎項介紹

      南京國盛電子有限公司副總經理任凱,擁有豐富的硅外延工藝技術經驗和生產管理經驗。他組建并帶領國盛公司“半導體硅外延用關鍵原輔材料和關鍵設備耗材備件國產化推進團隊”,協同國內相關產業鏈中的龍頭企業,在外延設備、關鍵零部件及特氣系統等本地化推進方面取得豐碩的成果。不但保證了半導體硅外延供應鏈安全,也帶動了國內配套企業的整體技術提升和產業轉型,實現了雙贏、多贏的良性發展局面。

       

      獲獎單位

      中芯國際  史偉

      獎項介紹

      在北京科華與中芯國際北京廠光刻部的合作中,史偉經理一方面在產品規劃、光刻膠測試及設備穩定性方面給北京科華提出了大量有針對性的建議;另一方面倡導雙方加深交流和合作,通過常態化的技術交流,使光刻工程師更加理解光刻膠機理,不斷提高對本地光刻膠產品的信任度。在過去的五年里,完成了多款KrF和i線光刻膠的產品定型和量產化應用,為培育光刻膠本地供應能力作用貢獻。

       

      四、新銳企業獎

      獲獎單位

      寧波施捷電子有限公司

      獎項介紹

      寧波施捷電子有限公司,于2019年2月在寧波市北侖區注冊成立,專注于集成電路封裝材料的技術研究與產品開發。經過一年多的發展,一批海內外博士等高層次人才陸續加入并落戶北侖,成功打造了一支從新材料設計,到設備設計、制造,到材料生產工藝一體的研發和生產團隊。2020年4月初施捷電子取得了ISO9001認證;多項產品通過國際一線客戶的論證,其中半導體封裝界面導熱材料生產設備已達HVM能力,并通過AMD封裝廠的驗廠審核,產量開始進入爬坡階段!

       

      五、最佳成長獎

      最佳成長獎授予在半導體制造用材料產品銷售收入超過5000萬元,且連續2年銷售收入增長率超過20%的企業:

       

      獲獎單位

      1

      浙江金瑞泓科技股份有限公司

      2

      深南電路股份有限公司

      3

      寧波江豐電子材料股份有限公司

      4

      中巨芯科技有限公司

      5

      安捷利電子科技(蘇州)有限公司

      6

      重慶超硅半導體有限公司

      7

      福建德爾科技有限公司

      8

      煙臺德邦科技有限公司

       

       

      六、五星產品

      五星產品證書授予技術水平高、品質優良、在國內外多個集成電路制造廠實現大批量應用,且保持穩定供應的硬核關鍵材料產品。

       

      獲獎項目

      獲獎單位

      1

      三氟化氮NF3

      中船重工(邯鄲)派瑞特種氣體有限公司

      2

      六氟化鎢WF6

      中船重工(邯鄲)派瑞特種氣體有限公司

      3

      電子級磷酸H3PO4

      湖北興福電子材料有限公司

      4

      300mm 鋁(Al)靶

      寧波江豐電子材料股份有限公司

      5

      300mm 鉭(Ta)環

      寧波江豐電子材料股份有限公司

      6

      300mm 銅(Cu)陽極

      寧波江豐電子材料股份有限公司

      7

      銅拋光液系列

      安集微電子科技(上海)股份有限公司

      8

      阻擋層拋光液系列

      安集微電子科技(上海)股份有限公司

      9

      集成電路制造用高純氫氟酸

      中巨芯科技有限公司

      10

      集成電路制造用高純硝酸

      中巨芯科技有限公司

      11

      砷烷安全源

      江蘇南大光電材料股份有限公司

      12

      磷烷安全源

      江蘇南大光電材料股份有限公司

      13

      三氟化硼安全源

      江蘇南大光電材料股份有限公司

      14

      電子級一氧化碳

      廣東華特氣體股份有限公司

      15

      電子級二氧化碳

      廣東華特氣體股份有限公司

      16

      芯片銅互連電鍍液SYSD2110

      上海新陽半導體材料股份有限公司

       

       

       

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