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      T/ICMTIA 3-2020《集成電路用六氯乙硅烷》團體標準發布公告

      T/ICMTIA 3-2020《集成電路用六氯乙硅烷》團體標準發布公告

      來源:
      ICMtia
      2020/02/24
      瀏覽量

      各有關單位:

       

        根據《團體標準管理規定》及《集成電路材料產業技術創新聯盟標準制定程序》要求,經聯盟標準委員會審議通過,現批準發布T/ICMTIA 3-2020《集成電路用六氯乙硅烷》團體標準。

       

      本標準于2020224日發布,并于2020424日開始實施,特此公告。

       

       

      集成電路材料產業技術創新聯盟

       二零二零年二月二十四日

      T/ICMTIA 3-2020《集成電路用六氯乙硅烷》團體標準目錄

       

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