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      材料和零部件聯盟電子氣體標準工作組會議在北京順利召開

      材料和零部件聯盟電子氣體標準工作組會議在北京順利召開

      來源:
      2018/08/08
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      2018年8月6日,由集成電路材料和零部件產業技術創新戰略聯盟標準委員會(以下簡稱“聯盟標委會”)主辦的電子氣體標準工作組會議在北京舉行。

      聯盟標準化工作委員會于2017年底成立,并已完成在“全國團體標準信息平臺”的注冊和公示。目前,聯盟已有11項標準立項,10項標準完成起草進入征求意見階段。

      本次會議根據集成電路制造企業和電子氣體供應商的共同需求,擴充聯盟標委會組成,重點吸收中芯國際集成電路制造有限公司、上海華虹宏力半導體制造有限公司、上海華力微電子有限公司、武漢新芯集成電路制造有限公司、無錫華潤微電子有限公司等制造企業的工程和品質管理技術專家加入,以適應快速提升電子氣體技術水平、品質保障能力和量產應用的需求。

      本次會議重點圍繞高端集成電路制造對電子氣體的技術水平、產品規范、供應商資質要求等進行了深入交流,系統研究了電子氣體標準體系架構,并制定了電子氣體基礎規范標準框架。

      會議還討論通過了《半導體制造用八氟環丁烷》和《半導體制造用二氧化碳》兩項團體標準的立項建議。

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