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      北京市海淀區知春路27號量子芯座

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      “300mm硅片工藝用濺射靶材研發與產業化”  ----聯盟成員單位承擔的02專項項目通過驗收

      “300mm硅片工藝用濺射靶材研發與產業化”  ----聯盟成員單位承擔的02專項項目通過驗收

      來源:
      2014/09/01
      瀏覽量

      說明: http://www.ytjdjzjx.com/u/cms/www/201409/02080907i3qy.jpg

      國家科技重大專項“極大規模集成電路制造裝備及成套工藝”專項(“02專項”)“300mm硅片工藝用濺射靶材研發與產業化”項目在經過近5年的產學研用聯合攻關后,各項指標均達到合同書要求,于328日通過了02專項實施管理辦公室組織的項目驗收。該項目的完成,打破了美國和日本對集成電路用高端靶材的壟斷,對推動國家電子信息產品的技術進步和集成電路全產業鏈的完整發展起到了較大作用。

      300mm硅片工藝用濺射靶材研發與產業化”項目由中色東方作為責任單位,聯合其他6家企業和2家高校共同完成。該項目下設6個課題,于2009年開始實施,任務承擔單位既包括原料生產單位,也包括靶材制作單位,同時還有靶材使用企業參與認證。項目采取“下家考核上家、系統考核部件、應用考核技術、市場考核產品”的成果評價方式,突破了高純Al/合金(5N5)、Ti(5N)、Cu(6N)、Ta(4N5)金屬的濕法冶煉、電解、鑄造、電子束熔煉等關鍵制備技術,自主設計、制造了高純鋁、鈦原料提純專用設備,研制出了大尺寸高純度金屬/合金鑄錠,突破了高純Al/合金、Ti、Cu、Ta靶材從鍛造、軋制、熱處理、金屬微觀晶粒組織及織構、擴散焊接及成品加工、清洗等關鍵技術,首次實現了極大規模集成電路300mm硅片工藝用高純Cu、Ta從原料、鑄錠到靶材制備的國產化。技術水平達到國際先進,產品通過了中芯國際、長電科技、南通富士通等用戶認證,已實現銷售2億多元,申請專利48項,制定行業標準5項,開發新產品新工藝26項,培養博士9名、碩士16名、技術專家17名。

      國家科技部重大專項管理辦公室副處長楊軍表示,02專項是國家中長期科技規劃中確立的重大專項之一,承擔項目的都是國內優勢企業,中色東方牽頭承擔的項目做得非常好,值得自豪。希望各企業很好地總結經驗,為下一個目標的實現打好基礎。

      02專項總體專家組組長葉甜春表示,02專項項目布局關乎國家集成電路產業鏈各個重要環節,隨著專項的推進,整個產業鏈各環節將逐步打通,同時也將提升項目參與單位的技術水平、競爭力和創新能力。他希望項目各承擔單位繼續保持已建立起的合作關系,在資源整合、商務模式、投融資等方面多做工作,實現經濟效益、社會效益的長遠發展。

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