為加快推進國產200mm硅片產業技術升級,受02專項總體組委托,集成電路材料產業技術創新戰略聯盟籌備組建了“國產200mm硅片量產應用推進工作組”。工作組的使命是統籌協調02專項硅材料類項目和200mm集成電路材料量產應用工程硅片采購進度,確保達成目標。
2015年5月13日工作組在上海華虹宏力半導體制造有限公司召開了 “200mm硅片協同推進第一次會議”。02專項總體組組長、中科院微電子所所長葉甜春,02專項總體組副組長、中科院微系統所所長王曦院士出席會議并講話; 02專項責任專家張衛、肖勝安和姜軍成出席本次會議并作技術指導;集成電路材料產業技術創新戰略聯盟秘書長石瑛主持會議。出席本次會議的企業有華虹宏力、華潤微電子、中芯國際、浙江金瑞泓、有研半導體,上海新傲、南京國盛、河北普興和天津環歐。
會上各集成電路生產制造企業及硅片生產廠家匯報了各自在02專項中的任務進展情況,并提出了目前項目實施中遇到的困難。02專項總體組組長葉甜春在聽取各單位匯報后表示:“產品的質量控制是項目實施的關鍵,只有在品質保障的前提下,生產制造商才有信心推動客戶使用國產硅片。建議由材料聯盟牽頭,開展專題研討”。
通過各硅片生產商和生產制造企業分組討論,會上形成了階段工作目標和進度節點,并確定了工作組工作機制。02專項總體組副組長王曦院士對本次會議作總結發言,并傳達了國務院領導對于國家科技重大專項的驗收工作精神,希望在座的各家企業能緊密協作,完成02專項硅材料項目和200mm集成電路材料量產應用工程項目任務。同時,他還希望聯盟能推動各材料廠家,充分利用國家集成電路“大基金”這個平臺,把我國集成電路國產化事業做大做強。