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      半導體廠高純硫酸回收再利用研討會在上海順利召開

      半導體廠高純硫酸回收再利用研討會在上海順利召開

      來源:
      2017/05/11
      瀏覽量

        2017年4月27日,由集成電路材料和零部件產業技術創新戰略聯盟(以下簡稱“聯盟”)主辦,??萍瘓F、上海新探創業投資有限公司承辦的“半導體廠高純硫酸回收再利用研討會”在上海舉行。國家環保局高級工程師何藝、上海市科委高新處副處長宋揚、社發處朱環、姜玲、上海市環保局陳小亮、中國循環經濟協會專家曲睿晶、副秘書長范東梅、中國硫酸工業協會秘書長李崇、聯盟秘書長石瑛、??萍瘓F副總裁殷慶元、新探公司總經理張生安等代表、中芯國際集成電路制造(上海)有限公司、上海華力微電子有限公司、上海華虹宏力半導體制造有限公司、江陰江化微電子材料股份有限公司、多氟多化工股份有限公司、石家莊誠志永勝電子科技有限公司等公司代表共計三十余人出席研討會,圍繞半導體行業用硫酸回收復用綠色發展道路和??萍瘓F示范工程實施方案等議題進行了深入探討。

        聯盟秘書長石瑛女士主持會議并指出半導體化學品回收復用對于保護環境、節約資源、推進綠色制造和可持續發展具有顯著的經濟效益和社會效益。但現階段實現半導體制造用化學品原級復用還存在工藝技術、Fab廠管理配合、環保部門監管以及運營模式等諸多有待協同和解決的問題,同時也缺乏行業標準的指導,需要相關企業和行業監管部門的積極參與,??萍瘓F提出的原級復用技術及建立示范工程將會發揮很好的示范作用。

        

      秘書長講話

        集成電路材料和零部件產業技術創新戰略聯盟秘書長石瑛主持開幕

        

      研討會現場

        研討會現場

        中芯國際、華力微電子、華虹宏力等半導體制造企業代表從用戶角度介紹了廢酸處理現狀及原級復用的愿望,指出隨著我國集成電路制造水平的不斷提高和Fab廠規模的不斷擴大,生產過程中對高純硫酸的需求量呈指數級增長,隨之帶來的廢酸產出量急速上升、危廢化學品處置成本明顯增加已成為困擾每個晶圓加工廠的難題。江化微電子材料股份有限公司、誠志永勝電子科技有限公司等企業分享了在相關化學品回收復用方面的經驗和體會,與會代表就廢酸處理現狀、亟需解決的問題及業界可以借鑒的經驗等展開了熱烈的討論。

        國家環保部高級工程師何藝、中國循環經濟協會專家曲睿晶分別從“十三五”危險廢物污染防治形式及中國廢硫酸環境管理現狀兩方面做了相關環保政策解讀。上海市科委宋揚處長、上海市環保局陳小亮介紹了目前上海市環保部門對半導體危廢化學品回收行業的監管現狀,指出半導體危廢化學品回收復用意義重大毋庸置疑,歡迎相關企業能參與其中并積極推動該領域高新技術的發展。

        ??萍瘓F副總裁殷慶元就試點工程的廠址選擇、盈利模式、中央分析室建立、政府資質審批、用戶認可等五個方面和與會代表進行面對面交流,并表示??萍瘓F作為一家秉持可持續發展理念的化工企業,在發展的過程中,不能以犧牲環境、犧牲社會的綜合成本作為代價,希望盡快完善試點項目方案并推進實施。

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