根據科技部網站公布的消息，國家重點支持的高新技術領域：

一、電子信息

二、生物與新醫藥

三、航空航天

四、新材料

五、高技術服務

六、新能源與節能

七、資源與環境

八、先進制造與自動化

其中包括半導體新材料制備與應用技術，具體如下：

石墨烯制備及應用技術；大尺寸硅單晶生長、晶片拋光片、SOI片及SiGe/Si外延片制備加工技術；大型MOCVD關鍵配套材料、硅襯底外延和OLED照明新材料制備技術；大尺寸砷化鎵襯底、拋光及外延片、GaAs/Si材料制備技術；紅外鍺單晶和寬帶隙單晶及外延材料制備技術；第三代寬禁帶半導體材料制備技術；高純金屬鎵、銦、砷、鍺、磷、鎘半導體蒸餾、區熔提純大型連續化工藝技術，高純及超高純有色金屬材料精煉提純技術及痕量雜質測試技術；低污染硅烷法高純度電子級多晶硅提純、后處理、區熔規?；a技術等。

* 高污染、高能耗、低光電轉換效率的太陽能電池用單晶、多晶硅制備加工技術除外。